掃描式電子顯微鏡能夠在納米級別上對樣品進行成像，清晰地觀察到樣品的微觀結(jié)構(gòu)和細節(jié)。目前，掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到亞納米級別；具有較大的景深，在成像過程中，即使樣品表面存在高低起伏，不同深度位置的信息都能清晰呈現(xiàn)，從而使SEM圖像具有特殊的三維立體感，有助于理解樣品的表面結(jié)構(gòu)。
只需將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理，就可直接放到掃描電鏡中進行觀察，因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)；可以通過安裝不同的探測器和附件，實現(xiàn)對樣品的多種信號的檢測和分析，如二次電子、背散射電子、X射線等，從而獲取樣品的形貌、成分、結(jié)構(gòu)等多種信息。
掃描式電子顯微鏡的使用注意事項：
1.操作流程與安全：嚴格按照操控手冊要求進行SEM的啟動和關(guān)閉流程，切勿隨意操作以免損壞儀器。在使用SEM時務必佩戴安全眼鏡、防護手套等個人防護裝備避免因意外事故帶來的傷害。遵循儀器操作規(guī)程不得將檢視物體超出儀器最大承受范圍以防止鏡頭損壞或樣本受損。
2.樣本處理和準備：樣本處理要確保無氧化物、塵埃等雜質(zhì)存在以免影響觀察效果。樣本尺寸大小要符合儀器規(guī)格注意避免樣本與儀器部件之間的接觸以免損壞或污染儀器。樣本應均勻分布在樣品臺上避免出現(xiàn)濃度過高或不均勻的現(xiàn)象以確保觀察結(jié)果準確性。
3.儀器維護與保養(yǎng)：定期檢查和維護掃描電子顯微鏡的各個部件包括電子槍、探測器、真空泵等確保其正常工作狀態(tài)。及時清理和更換耗材如鎢絲、光管等以保證儀器性能穩(wěn)定。避免在潮濕、高溫、強磁場等惡劣環(huán)境下使用儀器以免影響其使用壽命和性能。
