臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)占地面積小，不需要像大型落地式電鏡能譜儀那樣占用大量的實(shí)驗(yàn)室空間。它可以方便地放置在普通的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，易于在各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中安裝和使用，即使是空間有限的實(shí)驗(yàn)室也能夠輕松容納。整機(jī)一體化的設(shè)計(jì)減少了外部連接和復(fù)雜的線纜布置，降低了因連接問題導(dǎo)致故障的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)也便于設(shè)備的移動(dòng)和搬運(yùn)，在需要時(shí)可以輕松地在不同實(shí)驗(yàn)區(qū)域之間轉(zhuǎn)移。
臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)操作簡便：
1.具有智能化的操作軟件，操作界面友好，通常采用圖形化界面，操作人員只需經(jīng)過簡單的培訓(xùn)就能夠上手操作。軟件能夠自動(dòng)控制電子束的發(fā)射、聚焦、掃描以及 EDS 信號(hào)的采集和分析等一系列操作流程，大大減少了人工操作的復(fù)雜性和難度。
2.對(duì)于樣品的制備要求相對(duì)較低，不像有些大型電鏡需要復(fù)雜的樣品制備過程，如超薄切片、特殊的鍍膜等。可以對(duì)各種形態(tài)的樣品進(jìn)行直接觀察和分析，包括固體粉末、塊狀材料、纖維等，拓寬了樣品的適用范圍。
臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的測定步驟：
1.開機(jī)預(yù)熱：打開電鏡能譜一體機(jī)的電源，讓儀器預(yù)熱一段時(shí)間，使儀器達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
2.放置樣品：將待測樣品放置在電鏡舞臺(tái)上，調(diào)節(jié)舞臺(tái)位置和放大倍數(shù)，確保樣品處于合適的觀察位置。
3.調(diào)節(jié)參數(shù)：調(diào)節(jié)電子束的電流和加速電壓，使其適合樣品的特性。不同的樣品可能需要不同的電子束參數(shù)來獲得圖像和分析結(jié)果。
4.觀察形貌：利用電子束照射樣品，觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，通過調(diào)整圖像參數(shù)，如亮度、對(duì)比度等，以獲得清晰的圖像。可以進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察和記錄所需圖像。
5.能譜分析準(zhǔn)備：若需要進(jìn)一步分析樣品的成分，可以將電子束聚焦在更小的區(qū)域上，并連接能譜儀進(jìn)行能譜分析。
6.采集能譜數(shù)據(jù)：利用能譜儀測量樣品的X射線能譜，得到樣品中元素的成分信息。在采集過程中，需要注意設(shè)置合適的采集時(shí)間和參數(shù)，以確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。
7.數(shù)據(jù)分析與處理：根據(jù)得到的成分信息，分析樣品的組成和結(jié)構(gòu)特性。使用相關(guān)的軟件對(duì)能譜數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，如元素定性、定量分析等。
